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SEMI DMS 系列中的 Dellmeco 泵专为半导体行业开发。DMS 泵的单独组装在 100 洁净室中进行；所有部件都在这里用去离子水进行双重清洁和测试。完成后，将它们双重密封在薄膜中。
SEMI T 和 SEMI H 系列中与介质接触的所有部件均由 PTFE 和 TFM 制成。SEMI E 系列中与介质接触的所有部件均由 UPPE（超纯聚乙烯）制成。必须检查所有部件对介质的抵抗力。
优势 览
SEMI T、H 和 E 中没有金属成分
没有弹性O形圈
免润滑气动马达
在 100 洁净室中进行组装、清洁和泵测试，并采用密封包装的双重包装
耐用的 TFM 隔膜
四种材料，适用于 大范围的应用。200℃
由全材料制成，CNC 制造零件
许多附件，如脉动阻尼器、泄漏监测等。
与竞争对手的产品相比，组件减少了 40%